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武漢嘉儀通科技有限公司
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紅外退火爐 (IRLA)
紅外退火爐產品特點
采用國外品牌部件：循環水路設計，帶過濾部件，延長清洗爐體水路；紅外燈管壽命高達5000小時，峰值波長約為1.25微米，爐體工藝鏡面拋光。
高精度控溫：模糊邏輯PID控溫，控溫精度可達±0.1℃。
快速控溫：高能流密度紅外燈設計，24秒內儀器可快速升溫至1150℃；同時，爐體的熱容小，配合*的冷卻系統，可實現快速降溫。
異常報警保護：超溫和流量異常時均會自動切斷加熱，保護爐膛，達到報警的效果。
潔凈控溫：非電阻爐加熱，無絕熱保溫材料，更適合在潔凈環境中使用。
可擴展性：帶觀察窗，可配CCD，采集光學信號；預留接口，可加載電學測量模塊等。
紅外退火爐應用功能
強誘導體薄膜的結晶化退火
注入離子后的擴散退火
半導體材料的燒成與退火條件研究
快速熱退火、熱氧化和熱氮化
電極合金化
晶向化和堅化
石墨烯等氣相沉積
碳納米管等外延生長
單晶基板熱處理
溫升曲線圖（1150℃）
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