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?精密旋轉(zhuǎn)平臺(tái)是半導(dǎo)體檢測(cè)、光學(xué)校準(zhǔn)、真空鍍膜、精密光學(xué)測(cè)量、自動(dòng)化對(duì)位設(shè)備的核心執(zhí)行單元，設(shè)備對(duì)角度閉環(huán)反饋系統(tǒng)提出了小體積、高穩(wěn)定性、寬溫耐環(huán)境、低轉(zhuǎn)動(dòng)慣量、長(zhǎng)期免維護(hù)的多重嚴(yán)【詳情】
