MX51工業檢測顯微鏡 近紅外線觀察單元 晶圓凸出物觀察

考慮了檢查效率的設計

  高靈敏度載物臺可以迅速決定位置

內置離合器的載物臺手柄

MX51主要操作部件集中在前面，操作人員易于操作，即使長時間操作也不會感到疲勞。專用150mm載物臺內置離合器，可實現輕松移動。

電動物鏡轉換器示意圖

電動物鏡轉換器示意圖 電動物鏡轉換器的切換速度比原來提高了20%。物鏡的切換，可以操作按鈕瞬時間完成，提高了檢查速度。三種潔凈類型的物鏡轉換器可以按需選擇。另外，UIS2物鏡大幅度地提高了高倍率的偏心精度。即便是有小尺寸攝像元件的CCD攝像機，在切換倍率時也不會由視場中心附近偏離。

鮮明圖像和的分辨率為特點的光學系

  多種選擇可實現的成像性能

  UIS2物鏡擁有各種倍率、特殊用途物鏡等豐富的產品陣容，可按照用途選用。另外，波像差控制帶來的高品質，忠實于樣本的中性色彩顯示等，UIS2物鏡無論是在目視觀察中還是在數碼影像觀察中都能發揮它的性能。

  觀察影像實例

明視場觀察

暗視場觀察

微分干涉觀察

熒光觀察

  豐富的產品陣容，可按需選擇

  MPLAPON 平場復消色差透鏡

  MPLFLN 平場半復消色差透鏡

  MPLFLN-BD 明暗視場用平場半復消色差透鏡

  MPLFLN-BDP 反射偏振光用平場半復消色差透鏡

  LMPLFLN 長工作距離平場半復消色差透鏡

  LMPLFLN-BD 明暗視場用長工作距離平場半復消色差透鏡

  MPLN 平場消色差透鏡

  MPLN-BD 明暗視場用平場消色差透鏡

  SLMPLN 工作距離平場消色差透鏡

  LCPLFLN-LCD 液晶長工作距離平場半復消色差透鏡

軟件方案

  使用數碼照相機記錄和保存數碼影像

  幫助實現多種觀察方法的附件

  近紅外線觀察單元

  由可見光線領域到近紅外線領域的像差校正物鏡，和紅外線用超廣角三目鏡筒等，備有各種對應近紅外線觀察的單元。在晶圓凸出物接觸面等的觀察上發揮威力。

近紅外線觀察單元

近紅外線觀察

  熒光觀察單元

  在滑桿上追加鏡子裝置可以對應熒光觀察。備有U.B.G激勵的反射鏡裝置，可有效地檢查和分析有機EL和殘留光刻膠。

熒光鏡單元

熒光觀察

  透射照明單元

透射照明單元