電子掃描電子顯微鏡

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公司名稱蘇州市方圓計量儀器有限公司
品牌
型號
所在地蘇州市
廠商性質經銷商
更新時間2021/1/6 15:24:10
訪問次數693

產品標簽:

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公司介紹主營產品

以規矩為方圓則成，以尺寸量長短則得”。——管子

蘇州市方圓計量儀器有限公司（簡稱“方圓量儀”），坐落于中新合作蘇州新加坡工業園區，毗鄰美麗的陽澄湖，公司致力于推廣和銷售各類計量檢測儀器，為航天、軌道交通、汽車、核電、科研、模具、裝備制造及3C等產業提供一站式測量解決方案。

公司主要銷售的產品如下：

計量檢測儀器：三坐標測量機，影像測量儀，三維光學掃描儀，光學投影儀，工具顯微鏡，粗糙度儀、輪廓儀，圓度圓柱度儀，測高儀，測長儀，螺紋測量儀，激光跟蹤儀，激光干涉儀，激光測徑儀，氣動量儀，齒輪測量中心，齒輪嚙合儀，通用量具，硬度計，光譜分析儀，材料試驗機，金相設備，內窺鏡，無損檢測，環境試驗，表面涂裝檢測等精密儀器。主要品牌有：日本東京精密ACCRETECH，荷蘭軼諾INNOVATEST，美國施泰力Starrett，海克斯康Hexagon , 美國愛佩儀API，日本三豐Mitutoyo、日本親和SHINWA、日本大阪精密OSAKA、杭州思看ScanTECH，億萊瑞德Elayred，英國泰勒·霍普森Taylor-Hobson，瑞士TRIMOS、瑞士TESA，英國雷尼紹Renishaw，北京鋼研納克，美國美特斯工業MTS，上海尚材、金相，德國菲希爾Fischer、EPK，美國愛色麗x·rite，日本美能達等。

公司自2005年成立以來，一直遵循：“服務創造價值”的經營理念。公司設有儀器展廳，可以為客戶提供測件，演示，培訓等一條龍服務。公司在堅持為客戶提供優質產品的同時，更加注重產品的售前售中售后服務，現已培育出一支高素質的技術服務團隊，為公司銷售的產品提供了良好的技術保障，讓客戶沒有后顧之憂。

隨著公司的不斷發展，我們已與國內外眾多著商建立了*穩定的合作關系。我們相信，在今后的經營中，通過嚴格管理、周到細致的服務以及*形成的良好信譽，“方圓量儀”一定會以更多的優質產品更優良的服務回報廣大用戶的厚愛，使“方圓量儀”永遠成為您真誠的朋友和合作伙伴。

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硬度計

產品簡介在線詢價

電子掃描電子顯微鏡可以觀察直徑為0 ～ 30mm的大塊試樣（在半導體工業可以觀察更大直徑），制樣方法簡單。

電子掃描電子顯微鏡產品信息

日本電子JEOL是的電子光學產品供應商，JEOL致力于自主研究與開發，滿足技術創新需求，為世界科學發展做出貢獻。至今，JEOL在*安裝的掃描電子顯微鏡已超過8000臺。

電子掃描電子顯微鏡的工作原理
掃描電鏡是用聚焦電子束在試樣表面逐點掃描成像。試樣為塊狀或粉末顆粒，成像信號可以是二次電子、背散射電子或吸收電子。其中二次電子是主要的成像信號。由電子槍發射的能量為 5 ～ 35keV 的電子，以其交叉斑作為電子源，經二級聚光鏡及物鏡的縮小形成具有一定能量、一定束流強度和束斑直徑的微細電子束，在掃描線圈驅動下，于試樣表面按一定時間、空間順序作柵網式掃描。聚焦電子束與試樣相互作用，產生二次電子發射（以及其它物理信號），二次電子發射量隨試樣表面形貌而變化。二次電子信號被探測器收集轉換成電訊號，經視頻放大后輸入到顯像管柵極，調制與入射電子束同步掃描的顯像管亮度，得到反映試樣表面形貌的二次電子像。

電子掃描電子顯微鏡具有以下的特點
(1) 可以觀察直徑為0 ～ 30mm的大塊試樣(在半導體工業可以觀察更大直徑)，制樣方法簡單。
(2) 場深大、三百倍于光學顯微鏡，適用于粗糙表面和斷口的分析觀察；圖像富有立體感、真實感、易于識別和解釋。
(3) 放大倍數變化范圍大，一般為 15 ～ 200000 倍，對于多相、多組成的非均勻材料便于低倍下的普查和高倍下的觀察分析。
(4) 具有相當高的分辨率，一般為 3.5 ～ 6nm。
(5) 可以通過電子學方法有效地控制和改善圖像的質量，如通過調制可改善圖像反差的寬容度，使圖像各部分亮暗適中。采用雙放大倍數裝置或圖像選擇器，可在熒光屏上同時觀察不同放大倍數的圖像或不同形式的圖像。
(6) 可進行多種功能的分析。與 X 射線譜儀配接，可在觀察形貌的同時進行微區成分分析；配有光學顯微鏡和單色儀等附件時，可觀察陰極熒光圖像和進行陰極熒光光譜分析等。
(7) 可使用加熱、冷卻和拉伸等樣品臺進行動態試驗，觀察在不同環境條件下的相變及形態變化等。

掃描電鏡的主要結構
1.電子光學系統：電子槍；聚光鏡（一、第二聚光鏡和物鏡）；物鏡光闌。
2.掃描系統：掃描信號發生器；掃描放大控制器；掃描偏轉線圈。
3.信號探測放大系統：探測二次電子、背散射電子等電子信號。
4.圖像顯示和記錄系統：早期SEM采用顯像管、照相機等。數字式SEM采用計算機系統進行圖像顯示和記錄管理。
5.真空系統：真空度高于 10 -4 Torr 。常用：機械真空泵、擴散泵、渦輪分子泵
6.電源系統：高壓發生裝置、高壓油箱。

掃描電鏡主要指針
1.放大倍數 M=L/l
2.分辨率（本領）
影響分辨本領的主要因素：入射電子束斑的大小，成像信號（二次電子、背散射電子等）。
3.掃描電鏡的場深
掃描電鏡的場深是指電子束在試樣上掃描時，可獲得清晰圖像的深度范圍。當一束微細的電子束照射在表面粗糙的試樣上時，由于電子束有一定發散度，除了焦平面處，電子束將展寬，場深與放大倍數及孔徑光闌有關。

試樣制備
1 ．對試樣的要求：試樣可以是塊狀或粉末顆粒，在真空中能保持穩定，含有水分的試樣應先烘干除去水分，或使用臨界點干燥設備進行處理。表面受到污染的試樣，要在不破壞試樣表面結構的前提下進行適當清洗，然后烘干。新斷開的斷口或斷面，一般不需要進行處理，以免破壞斷口或表面的結構狀態。有些試樣的表面、斷口需要進行適當的侵蝕，才能暴露某些結構細節，則在侵蝕后應將表面或斷口清洗干凈，然后烘干。對磁性試樣要預先去磁，以免觀察時電子束受到磁場的影響。試樣大小要適合儀器樣品座的尺寸，不能過大，樣品座尺寸各儀器不均相同，一般小的樣品座為Φ3～5mm，大的樣品座為Φ30～50mm，以分別用來放置不同大小的試樣，樣品的高度也有一定的限制，一般在5～10mm左右。
2 ．掃描電鏡的塊狀試樣制備是比較簡便的。對于塊狀導電材料，除了大小要適合儀器樣品座尺寸外，基本上不需進行什么制備，用導電膠把試樣粘結在樣品座上，即可放在掃描電鏡中觀察。對于塊狀的非導電或導電性較差的材料，要*行鍍膜處理，在材料表面形成一層導電膜。以避免電荷積累，影響圖像質量。并可防止試樣的熱損傷。
3 ．粉末試樣的制備：先將導電膠或雙面膠紙粘結在樣品座上，再均勻地把粉末樣撒在上面，用洗耳球吹去未粘住的粉末，再鍍上一層導電膜，即可上電鏡觀察。
4 ．鍍膜：鍍膜的方法有兩種，一是真空鍍膜，另一種是離子濺射鍍膜。離子濺射鍍膜的原理是：在低氣壓系統中，氣體分子在相隔一定距離的陽極和陰極之間的強電場作用下電離成正離子和電子，正離子飛向陰極，電子飛向陽極，二電極間形成輝光放電，在輝光放電過程中，具有一定動量的正離子撞擊陰極，使陰極表面的原子被逐出，稱為濺射，如果陰極表面為用來鍍膜的材料（靶材），需要鍍膜的樣品放在作為陽極的樣品臺上，則被正離子轟擊而濺射出來的靶材原子沉積在試樣上，形成一定厚度的鍍膜層。離子濺射時常用的氣體為惰性氣體氬，要求不高時，也可以用空氣，氣壓約為 5 X 10 -2 Torr 。離子濺射鍍膜與真空鍍膜相比，其主要優點是：（ 1 ）裝置結構簡單，使用方便，濺射一次只需幾分鐘，而真空鍍膜則要半個小時以上。（ 2 ）消耗貴金屬少，每次僅約幾毫克。（ 3 ）對同一種鍍膜材料，離子濺射鍍膜質量好，能形成顆粒更細、更致密、更均勻、附著力更強的膜。